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上海添時科學儀器有限公司

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當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>薄膜制備全套設(shè)備及解決方案>> -GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀

高真空蒸發(fā)鍍膜儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:-GSL-1800X-ZF4

品       牌:

廠商性質(zhì):代理商

產(chǎn)品資料:下載

所  在  地:上海市

更新時間:2024-08-17 20:35:34瀏覽次數(shù):4730次

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GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究,這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)

 

電壓

  • 輸入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
  • 輸出: 0 - 8VAC (可調(diào))大電流: 400A (可調(diào))
  • 大功率:4000W(包括真空泵)

 

真空腔體

  • 不銹鋼腔體:280mm ID. x 375 mm H,腔體內(nèi)壁做了電拋光處理
  • 有一個150mm的觀察窗口(采用無氧銅密封圈密封)
  • 一個RF-150法蘭,便于放入樣品。
  • 一個KF-40法蘭,可與真空泵相連接
  • 四個CF-35法蘭,便于安裝真空計、電極和其他用途備用

 

真空泵

 

 

  • 儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵
  • 前級泵抽速:600L/S
  • 真空度:5.0x10-6 torr(泵開啟后40分鐘)
  • 極限真空度:5.0x10-7  torr(烘烤溫度為60-80℃)
  • 漏氣率:5.0x10-7Pa./S

 

蒸發(fā)加熱源 樣品臺

  • 5個水冷電極安裝在腔體底部,可支持4個鎢加熱舟
  • 每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板,所以實驗時可以防止各物料之間的污染,樣品臺安裝在真空腔體頂部,直徑為150mm
  •  

    樣品臺可以旋轉(zhuǎn)和加熱,旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm,加熱高溫度600℃

     

  • 蒸發(fā)源與樣品臺的距離為250mm

 

測厚儀

  • 一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內(nèi)部
  • 測量精度為:1.0Å

 

循環(huán)水冷機

  • 儀器使用過程中需要通冷卻水,為了節(jié)約用水,強烈建議使用循環(huán)水冷機
  • 所需水流量>15L/min

 

   

 

 

控制單元

  • 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內(nèi)
  • 控制單元和真空腔體獨立分開,以便于操作

 

外形尺寸

 

L600mm× W860mm× H1500mm

 

凈重

 

600kg

 

質(zhì)保

 

一年質(zhì)保期,終生維護

 

質(zhì)量認證

 

CE認證

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